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美國(guó)SRS PPR系列過程檢測(cè)系統(tǒng) 主要應(yīng)用：真空在線檢測(cè)；高真空成份分析；MOCVD 等在線過程監(jiān)控；10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反應(yīng)過程檢測(cè)等等

美國(guó)SRS QMS系列四極質(zhì)譜儀 QMS系列四極質(zhì)譜儀 一個(gè)高效，低成本的寬范圍的質(zhì)譜分析儀。廣泛的有效應(yīng)用，具有高性價(jià)比的解決方案，這個(gè)質(zhì)譜分析簡(jiǎn)化了在線過程檢測(cè)和氣體分析，泄漏檢測(cè)和故障診斷分析等實(shí)驗(yàn)。

美國(guó)SRS UGA系列大氣分析設(shè)備 UGA系統(tǒng)自帶windows 軟件，實(shí)時(shí)采集數(shù)據(jù)和圖形化顯示，操作方便快捷。軟件功能中包含模擬的柱狀掃描模式、壓力和時(shí)間關(guān)系圖、檢漏測(cè)試、氣體分析和在線分析。標(biāo)準(zhǔn)的GPIB 和RS232 接口方便與計(jì)算機(jī)連接控制。

美國(guó)SRS RGA系列殘余氣體分析儀 RGA系列殘余氣體分析儀可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。

美國(guó)SRS IGC100離子計(jì)控制器 IGC100是一個(gè)高精度真空計(jì)控制器，提供壓力測(cè)量和過程自動(dòng)化控制。它測(cè)量壓力從Bayard-Alpert電離計(jì),對(duì)流增強(qiáng)的皮拉尼真空計(jì),和電容壓力計(jì)。提供不間斷的壓力讀數(shù)從1000 Torr to UHV。